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[行业新闻] 半导体洁净室中ULPA过滤器的检漏测试具体有哪些方法？各自的优缺点是什么？
在半导体洁净室中，ULPA（超高效空气过滤器，通常为U15及以上等级）的检漏测试是保障洁净度的核心环节，需精准检测滤芯本体、密封边缘、安装框架等部位的泄漏（允许泄漏率≤0.001%，远严于普通工业标准），避免亚微米级微粒（0.1~0.3μm发布时间：2025-10-09 点击次数：11146
